技術応用
処理能力
● 各種板材厚さのエッチング製品
|
仮面 通常の物品 |
厚さ(mm) |
臨界寸法公差(CD) | 総ピッチ公差(TP) | せっけいせいげん | |||
| 汎用 | 高精度 | 汎用 | 高精度 | [敏感词]/溝 | 小フレーム幅 | ||
| 0.03~0.05 | ±0.03 mm | ±0.005mm | ±0.03 mm | ±0.005mm | 0.03~0.05 | 100%*T | |
| 0.06~0.15 | ±0.03 mm | ±0.015mm | ±0.03 mm | ±0.015mm | 100%*T | 100%*T | |
| 0.20 | ±0.03 mm |
図面に基づいて議論する |
±0.03 mm |
図面に基づいて議論する |
100%*T | 100%*T | |
| 0.30 | ±0.03 mm | ±0.03 mm | 100%*T | 100%*T | |||
| 0.40 | ±10%*T | ±0.03 mm | 100%*T | 100%*T | |||
| 0.50 | ±10%*T | ±0.03 mm | 100%*T | 100%*T | |||
| 0.60~1.00 | ±10%*T | ±0.03 mm | 100%*T | 100%*T | |||
| 構造 |
厚さ (ミリメートル) |
小敷地面積(A) | 小スペース(B) | ||||
| トータルデザイン | 一般公差 | トータルデザイン | 一般公差 | トータルデザイン | 一般公差 | ||
| 0.20 | >0.30 mm | >0.30 mm | T*0.75 | ±0.03 mm | ≥0.12 | ±0.03 | |
| 0.25 | >0.30 mm | >0.30 mm | T*0.75 | ±0.03 mm | ≥0.15 | ±0.03 | |
| 0.50 | >0.30 mm | ±10%*T | T*0.75 | ±10%*T | ≥0.33 | ±0.03 | |
| 腔(こう) |
厚さ (ミリメートル) |
臨界寸法公差(CD) | |||||
| 汎用 | 高精度 | 0.25 mm未満 | 0.25~0.4 mm | 0.40 ~ 0.55 mm | 0.55mm以上 | ||
| 0.5mm | ±10%*T | 図面に基づいて議論する | ±0.015mm | ±0.02 mm | ±0.03 mm | 図面に基づいて議論する | |
| 0.7 | ±10%*T | ||||||
| 1.0 | ±10%*T | ||||||
●ハーフエッチング深さは幅設計に対応する
| ハーフエッチング液滴 | 深さ | 幅 |
|
単段 |
10um | ≥250um |
| 20um | ≥400um | |
| 30um | ≥550um | |
| 40um | ≥700um | |
| ダブルステップ | 図面に基づいて議論する | |
●OLED MASK断面構造と仕様
1.TA=45±5度の正常な気化角度の要求を満たすために、気化マスクをオープンハーフエッチング設計に導入した。±50 umのアライメント精度を実現するためには二次露光プロセスが必要である
ステップ幅<5 um
テーパ角30 ~ 70°は、図面の要求に応じて調整することができる
半深普通型10 ~ 40 um。特別なニーズは状況に応じて評価することができる
半幅は深さに比例する。設計原則は表1を参照し、特殊需要は単独で評価することができる。
3、蒸気めっきオープンマスク
なぜ華舟精密エッチング装置を選んだのか。
東莞市華洲機械科技有限公司は要求の厳しい精密部品メーカーのために設計された一連の金属エッチング設備を提供している。![]()

高均一性噴霧システム:
扇形ノズル行列と発振機構を採用し、±3%までの全体エッチング均一性を実現した。これにより、大幅なメタルマスクまたは蒸気室プレートの中心とエッジとの間の一貫した精度が確保される。
インテリジェント温度制御と化学管理:
カスタマイズソリューション:
高精度のメタルマスク、蒸気室、エンコーダダイヤルなどの異なる製品に対して、エッチング、クリーニング、ストリップなどの完全なプロセスソリューションを提供します。
応用例:
OLED画面から産業用エンコーダへ
高精度金属マスクエッチング装置:
OLED蒸発マスクメーカーにサービスし、厚さ0.03-0.15 mmの精密マスクを安定的に生産し、開口寸法公差を±0.005 mm以内に保持する。
ガス室精密エッチング装置:
熱モジュール製造業者のために0.3-0.8 mm超薄蒸気室の頂部と底部を加工し、小線幅0.25 mmのマイクロチャネル構造と均一なアンダーカット制御を実現した。
エンコーダダイヤル精密エッチング装置:
高精度金属符号盤を生産し、溝幅とピッチ公差≦±0.015 mmを確保し、符号器信号の安定性を高める。
結論
精密エッチング技術は、より細かく、より厚く、より複雑な3 D構造へと発展している。OLEDマスクの階段構造、ガス室のマイクロチャネル、符号化ディスクの超微細スリットにかかわらず、エッチング装置の精度、安定性、プロセス制御能力に基づいている。
東莞華洲機械科学技術有限公司は精密エッチング設備の研究開発を基礎として、国際[敏感词]線の技術基準を基準にして、国内外のハイエンドメーカーに高精度、高信頼性のエッチング生産ラインを提供することに力を入れている。
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