Fine Metal Masks sont des masques métalliques ultra-minces utilisés dans le processus d'évaporation OLED. Leurs fonctions principales sont les suivantes :
Contrôle du dépôt de matériau OLED
Assurer un alignement précis des pixels RVB
Amélioration de la résolution de l'affichage
Maintenir la cohérence du panneau
À mesure que la technologie d'affichage progresse vers des panneaux à haute résolution et de grande taille, la précision de fabrication des masques FMM devient de plus en plus importante.

Matériaux utilisés pour les masques FMM
Les masques FMM sont généralement fabriqués à partir de matériaux métalliques de haute stabilité tels que:
alliage Invar
Acier inoxydable
Alliages spécialisés à faible expansion

Ces matériaux fournissent:
Faible expansion thermiqueStabilité structurelle élevée
Excellentes performances de micro-traitement

Pour atteindre des structures de précision au niveau du micron, la fabrication FMM utilise généralement la photolithographie combinée avecgravure chimique.

Fabrication de gravure chimique FMMProcessus
Le processus typique comprend:
Préparation du matériel
Sélection de tôles métalliques de haute précision.
Photolithographie
Transfert de motifs fins sur la surface métallique.
Gravure chimique
Graver les zones non protégées pour créer des micro-ouvertures.
Nettoyage et résiste à l'enlèvement
Élimination de la photorésistance et nettoyage de la surface.
Inspection de précision
Assurer la précision de l'ouverture et la cohérence du motif.